一种基于石墨烯纳米墙的气流传感器及制作方法 | |
杨俊![]() ![]() ![]() ![]() ![]() | |
2017-10-27 | |
著作权人 | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
专利号 | 2014106531108 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明专利 |
英文摘要 | 本发明公开了一种基于石墨烯纳米墙的气流传感器,包括柔性衬底、设置在柔性衬底上的石墨烯纳米墙和设置在石墨烯纳米墙上的电极,所述柔性衬底会因气体流动而产生微小震动,从而导致石墨烯纳米墙的电阻发生改变;与此同时,本发明还提供一种制作前述气流传感器的方法。本发明所提供的气流传感器对气体流动有优良的探测特性,并且体积小巧,功耗低,性能稳定;同时柔性较好,可穿戴性能佳。 |
分类号 | G01d5/16(2006.01)i |
申请日期 | 2014-11-13 |
语种 | 中文 |
状态 | 已授权 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://119.78.100.138/handle/2HOD01W0/5350] ![]() |
专题 | 微纳制造与系统集成研究中心 |
作者单位 | (1)中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨俊,魏大鹏,汤林龙,等. 一种基于石墨烯纳米墙的气流传感器及制作方法. 2014106531108. 2017-10-27. |
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