大口径薄膜衍射主镜面形误差仿真分析

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	大口径薄膜衍射主镜面形误差仿真分析
	李韬杰; 吴鹏; 杨正; 尹韶云; 杜春雷; 汪岳峰
刊名	光子学报
	2017-12-27
期号	2 页码:169-178
关键词	衍射光学薄膜参考面面形误差波前误差
英文摘要	以理想坐标面为参考面,建立了大口径薄膜衍射主镜面形误差与波前误差的关系模型.首先建立了子镜面形误差模型;其次根据导出的子镜波前误差与大口径薄膜衍射主镜波前误差关系式,分别讨论了边缘褶皱面形和球面面形两种形变情况下不同区域子镜的形变允许范围;最终通过全体子镜的波前误差反向拟合Zernike多项式,得到了不同形变情况下主镜的低阶像差类型.研究结果可为成像系统的像差校正提供理论依据,对大口径薄膜衍射主镜的夹持装配有参考意义.
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://119.78.100.138/handle/2HOD01W0/5139]
专题	集成光电技术研究中心微纳制造与系统集成研究中心
作者单位	(1) 中国人民解放军陆军工程大学电子与光学工程系(2)中国科学院重庆绿色智能技术研究院集成光电研究中心(3)跨尺度制造技术重庆市重点实验室
推荐引用方式 GB/T 7714	李韬杰,吴鹏,杨正,等. 大口径薄膜衍射主镜面形误差仿真分析[J]. 光子学报,2017(2):169-178.
APA	李韬杰,吴鹏,杨正,尹韶云,杜春雷,&汪岳峰.(2017).大口径薄膜衍射主镜面形误差仿真分析.光子学报(2),169-178.
MLA	李韬杰,et al."大口径薄膜衍射主镜面形误差仿真分析".光子学报 .2(2017):169-178.