丙酮气敏传感器及其制备方法

	丙酮气敏传感器及其制备方法
	傅剑宇; 吴迪; 周博天; 袁野; 严胡勇
	2017-04-05
著作权人	中国科学院重庆绿色智能技术研究院
专利号	2014106214593
国家	中国
文献子类	发明专利
英文摘要	本发明提供了一种丙酮气敏传感器，包括：底座，底座包括镂空结构；支撑层，一侧与底座的正面复合，且支撑层悬空地架设在镂空结构上；加热电阻，设置在支撑层的另一侧；绝缘层，复合在加热电阻及支撑层的另一侧；两个电极，间隔地设置在绝缘层的远离支撑层一侧的表面上；对丙酮气体敏感的敏感层，设置在绝缘层的外侧，且两个电极分别与敏感层的两侧连接。由于支撑层悬空地架设在镂空结构上，因此构成了不含底座材料的多层膜结构，有效降低了结构热导，加热电阻在低功率的情况下就能使敏感层温度升至工作温度，从而进一步降低了丙酮气敏传感器功耗，使器件具有高集成度、低功耗的特点。
分类号	G01n27/12(2006.01)i
申请日期	2014-11-05
语种	中文
状态	已授权
内容类型	专利
源URL	[http://119.78.100.138/handle/2HOD01W0/5418]
专题	大数据挖掘及应用中心
作者单位	(1)中国科学院重庆绿色智能技术研究院
推荐引用方式 GB/T 7714	傅剑宇,吴迪,周博天,等. 丙酮气敏传感器及其制备方法. 2014106214593. 2017-04-05.