| 四通道MCP选通X射线皮秒分幅相机 | |
| 山冰; 刘进元; 成金秀; 杨存榜; 常增虎; 刘秀琴; 高胜琛 | |
| 1999 | |
| 文献子类 | 省部科学技术进步奖 |
| 奖励等级 | 院级二等奖 |
| 学科主题 | 电子、通信与自动控制技术 |
| 英文摘要 | 投影光刻机为制造大规模集成电路关键设备，我所研制光学系统，机械结构由上海无线电机械厂负责。〓主要技术性能指标：焦距：f=86.4mm;放大率：M=-1/5倍;象面直径：Φ10mm;物距;342.9mm;象距：39.86mm;相对孔径：1°１.2;光拦孔径可变，最大Φ30mm。照相分辨率：1000Lp/mm |
| 语种 | 中文 |
| 内容类型 | 成果 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/19167]  |
| 专题 | 西安光学精密机械研究所_中国科学院西安光学精密机械研究所(2010年前) |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 山冰,刘进元,成金秀,等. 四通道MCP选通X射线皮秒分幅相机. . 1999. |
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