| 大气压磁增强与磁约束直流辉光放电离子源 | |
| 汤洁; 段忆翔; 赵卫; 王屹山; 李静; 张同意; 王静 | |
| 2016-12-22 | |
| 专利号 | CN201611198585.8 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明 |
| 英文摘要 | 本发明提出一种大气压磁增强与磁约束直流辉光放电离子源，更大程度地提高了该类型离子源的电离效率、离子传输效率，以及工作的稳定性。该大气压磁增强与磁约束直流辉光放电离子源，在腔体轴向外围且更接近出气端口、避开直流放电电极设置有一对隔着腔体平行相对的长方体永久磁体，磁场B1覆盖直流放电区域，磁场B1方向与直流放电区域的电流J垂直，且J×B1沿气体流动方向；沿腔体轴向同轴依次设置有两个同规格的环形永久磁体，使得两个环形永久磁体形成匀强磁场B2覆盖直流放电区域以及出气端口下游的等离子体射流区域，匀强磁场B2方向与腔体以及环形永久磁体的轴向一致。 |
| 公开日期 | 2017-04-26 |
| 语种 | 中文 |
| 状态 | 审查中-实审 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/29487]  |
| 专题 | 西安光学精密机械研究所_瞬态光学技术国家重点实验室 |
| 作者单位 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 汤洁,段忆翔,赵卫,等. 大气压磁增强与磁约束直流辉光放电离子源. CN201611198585.8. 2016-12-22. |
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