基于选区外延技术的单片集成阵列波导光栅与单载流子探测器的端对接设计

	基于选区外延技术的单片集成阵列波导光栅与单载流子探测器的端对接设计
	叶焓; 韩勤; 吕倩倩; 潘盼; 安俊明; 王玉冰; 刘荣瑞; 侯丽丽
刊名	Acta Physica Sinica
	2017
卷号	66 页码:158502
学科主题	光电子学
公开日期	2018-07-09
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/28763]
专题	半导体研究所_光电子研究发展中心
推荐引用方式 GB/T 7714	叶焓,韩勤,吕倩倩,等. 基于选区外延技术的单片集成阵列波导光栅与单载流子探测器的端对接设计[J]. Acta Physica Sinica,2017,66:158502.
APA	叶焓.,韩勤.,吕倩倩.,潘盼.,安俊明.,...&侯丽丽.(2017).基于选区外延技术的单片集成阵列波导光栅与单载流子探测器的端对接设计.Acta Physica Sinica,66,158502.
MLA	叶焓,et al."基于选区外延技术的单片集成阵列波导光栅与单载流子探测器的端对接设计".Acta Physica Sinica 66(2017):158502.