光刻机偏振照明系统偏振态测量实验结果

	光刻机偏振照明系统偏振态测量实验结果
	蔡燕民; 步扬; 王向朝
	2016
中文摘要	偏振照明系统是浸液光刻机增强分辨率的标准配置,针对浸液光刻机偏振照明系统在安装集成时偏振参数检测的需求,本课题组设计制造了一套偏振照明系统偏振态检测装置,为偏振照明系统安装集成时的故障诊断、性能评估等提供依据。该偏振检测装置实验的配置如图1所示,在传统光刻照明系统中增加偏振分束棱镜PBS产生X方向
会议录	第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
语种	中文
内容类型	会议论文
源URL	[http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/27461]
专题	上海光学精密机械研究所_信息光学与光电技术实验室
作者单位	中国科学院上海光学精密机械研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	蔡燕民,步扬,王向朝. 光刻机偏振照明系统偏振态测量实验结果[C]. 见:.