飞秒激光抛光去除函数特性的研究

	飞秒激光抛光去除函数特性的研究
	贺婷; 魏朝阳; 邵建达
	2016
中文摘要	基于飞秒激光与熔石英材料相互作用机理,建立了飞秒激光抛光熔石英材料的去除函数预测模型,采用波长为800nm的飞秒激光烧蚀熔石英玻璃进行了实验验证。利用光学轮廓仪、扫描电镜及原子力显微镜对飞秒激光抛光熔石英玻璃的去除函数进行了分析,结果表明,去除函数深度及去除体积在较大范围内与激光能量密度成线性关系;飞秒激光烧蚀的去除函数为旋转对称近高斯型函数,且表面光滑;去除效率高,单脉冲能量仅为30μJ时,去除体积达到15.4μm~3/ms;单脉冲能量5μJ时,烧蚀直径为4.38μm,深度仅5.21nm,通过控制激光的
会议录	强激光材料与元器件学术研讨会暨激光破坏学术研讨会论文集
语种	中文
内容类型	会议论文
源URL	[http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/27423]
专题	上海光学精密机械研究所_中科院强激光材料重点实验室
作者单位	中国科学院上海光学精密机械研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	贺婷,魏朝阳,邵建达. 飞秒激光抛光去除函数特性的研究[C]. 见:.