用α能损法测量薄膜厚度所需真空度的确定方法

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	用α能损法测量薄膜厚度所需真空度的确定方法
	许佳; 徐家云; 马小军; 宋佳玲; 黎刚; 张敏超; 王力
刊名	强激光与粒子束
	2016
卷号	28 期号:8 页码:084002-1-084002-5
关键词	α粒子能量损失真空度确定方法薄膜厚度
ISSN号	1001-4322
中文摘要	用α能损法测量薄膜厚度及其厚度分布的均匀性是一种有效的新方法,但这种测量必须在真空室内进行,如何恰当地选择真空度对于提高测量精度和降低真空系统的建造成本都具有重要意义。通过采用 SRIM 软件模拟5.486MeVα粒子在空气中的阻止本领,计算出在不同真空度时,从241Am源发出α粒子穿过不同距离达到探测器时的能量损失,得到α粒子能量损失与真空度的关系。根据这一关系,结合所建α能谱仪在测量过程中的稳定性和重复性,建立了用α粒子测量薄膜厚度所需真空度的确定方法,并用这一方法得到了在源与探测器距离为2~8cm时,小于100Pa的真空度能完全满足测量要求的结果。
收录类别	CSCD
出版地	MIANYANG
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.lzu.edu.cn/handle/262010/187525]
专题	第二临床医学院_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	许佳,徐家云,马小军,等. 用α能损法测量薄膜厚度所需真空度的确定方法[J]. 强激光与粒子束,2016,28(8):084002-1-084002-5.
APA	许佳.,徐家云.,马小军.,宋佳玲.,黎刚.,...&王力.(2016).用α能损法测量薄膜厚度所需真空度的确定方法.强激光与粒子束,28(8),084002-1-084002-5.
MLA	许佳,et al."用α能损法测量薄膜厚度所需真空度的确定方法".强激光与粒子束 28.8(2016):084002-1-084002-5.