类金刚石膜不同能量下的离子注入 | |
项金钟; 郑志豪; 熊京; 张仿清 | |
刊名 | ACTA PHYSICA SINICA |
1990-04-01 | |
期号 | 3页码:420-423 |
关键词 | 类金刚石膜 离子注入 同能量 注入能量 光学能隙 氢含量 电阻率 C—H键 红外吸收谱 Raman谱 |
ISSN号 | 1000-3290 |
中文摘要 | 本文对等离子体气相沉积法制备的类金刚石膜(a-C:H)进行了离子注入研究。注入剂量固定为5×10~5Ar/cm~2,注入能量分别为50,100,140和180keV。离子注入前后分别作了红外吸收谱,Raman谱,光学能隙,氢含量和电阻率的测量。结果表明,注入离子破坏了膜中的C—H键,sp~2和sp~3态都减少,而(sp~2/sp~3)比值增大;光学能隙E_(opt),电阻率以及氢含量随着注入离子能量的增加而减少,而在180keV时,不再有明显变化。文中对上述结果进行了分析和讨论。 |
学科主题 | Physics |
出版地 | BEIJING |
语种 | 中文 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://ir.lzu.edu.cn/handle/262010/130454] |
专题 | 核科学与技术学院_期刊论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 项金钟,郑志豪,熊京,等. 类金刚石膜不同能量下的离子注入[J]. ACTA PHYSICA SINICA,1990(3):420-423. |
APA | 项金钟,郑志豪,熊京,&张仿清.(1990).类金刚石膜不同能量下的离子注入.ACTA PHYSICA SINICA(3),420-423. |
MLA | 项金钟,et al."类金刚石膜不同能量下的离子注入".ACTA PHYSICA SINICA .3(1990):420-423. |
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