脉冲占空比变化对阴极弧制备(Ti;Al)N薄膜结构和性能的影响

	脉冲占空比变化对阴极弧制备(Ti;Al)N薄膜结构和性能的影响
	刘金良; 唐为国; 毛延发; 韩培刚; 冯博学
	2006-08-01
会议名称	第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛
关键词	占空比 Ti,Al)N 薄膜结构硬质薄膜晶粒尺寸表面形貌纳米压痕显微硬度仪对阴极原子比
页码	4
中文摘要	利用脉冲偏压阴极弧离子蒸发沉积技术在不同占空比条件下制备了(Ti,Al)N硬质薄膜,阴极弧TiAl合金靶的原子比为1:1,使用XRD、显微硬度仪、纳米压痕仪以及金相显微镜观察了不同占空比对薄膜微结构、硬度及表面形貌的影响。结果表明,薄膜呈面心立方晶结构,随着占空比增大,晶胞参数和晶粒尺寸单调增大,液滴对薄膜表面形貌的影响减小,薄膜的显微硬度在40％占空比时达到最大。
会议录	第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集
语种	中文
内容类型	会议论文
源URL	[http://202.201.7.4/handle/262010/108016]
专题	物理科学与技术学院_会议论文
推荐引用方式 GB/T 7714	刘金良,唐为国,毛延发,等. 脉冲占空比变化对阴极弧制备(Ti;Al)N薄膜结构和性能的影响[C]. 见:第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛.