磁过滤阴极弧等离子体制备类金刚石纳米尖点阵列膜

	磁过滤阴极弧等离子体制备类金刚石纳米尖点阵列膜
	李晓春; 闫鹏勋; 李春; 崇二敏; 刘洋
	2006-08-01
会议名称	第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛
关键词	磁过滤阴极弧等离子体(FCAP) 氧化铝模板(AA0) 类金刚石纳米尖点阵列场发射
页码	4
中文摘要	采用自行研制的实验装置,用磁过滤阴极弧等离子体结合二次氧化法,在氧化铝模板上制备类金刚石纳米尖点阵列膜。并利用红外光谱(IR)、透射电子显微镜(TEM)、原子力显微镜(AFM) 和自制的场发射测试装置等手段对样品的形貌,内部结构以及场发射性能进行表征,发现了较好的场发射性能。
会议录	第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集
语种	中文
内容类型	会议论文
源URL	[http://202.201.7.4/handle/262010/108012]
专题	物理科学与技术学院_会议论文
推荐引用方式 GB/T 7714	李晓春,闫鹏勋,李春,等. 磁过滤阴极弧等离子体制备类金刚石纳米尖点阵列膜[C]. 见:第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛.