TiAlN三元涂层结构及性能研究

	TiAlN三元涂层结构及性能研究
	王君; 陈江涛; 张广安; 苗彬彬; 张飞; 闫鹏勋
	2006-08-01
会议名称	第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛
关键词	TiAlN涂层结构摩擦性能形貌
页码	5
中文摘要	本文用中频孪生溅射技术在Si(111)基底上制备了富Al元素且Al／Ti原子比不同的TiAlN涂层,对其结构及表面形貌进行了研究,并在UMT-2MT摩擦试验机上进行摩擦试验,研究了不同原子比下的摩擦性能及摩擦系数,并对试验后的形貌进行了分析。发现涂层结构随着Al含量的增高发生转变,在高含量下,晶界明显,摩擦系数也明显增大,涂层脱落严重。
会议录	第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集
语种	中文
内容类型	会议论文
源URL	[http://202.201.7.4/handle/262010/108010]
专题	物理科学与技术学院_会议论文
推荐引用方式 GB/T 7714	王君,陈江涛,张广安,等. TiAlN三元涂层结构及性能研究[C]. 见:第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛.