碳化钛掺杂含氢类金刚石薄膜的力学和机械性能研究

	碳化钛掺杂含氢类金刚石薄膜的力学和机械性能研究
	王云锋; 王立平; 张广安; 闫鹏勋
	2009-05-08
会议名称	2009年全国青年摩擦学学术会议
关键词	类金刚石薄膜碳化钛薄膜材料纳米晶粒复合结构磁控溅射石墨化微电子机械系统反应气体半导体材料
页码	1
中文摘要	类金刚石碳薄膜具有高硬度、低摩擦系数、高耐磨性以及良好的化学稳定性、导热性、电绝缘性、光透过性和生物相容性,作为新型功能薄膜材料在机械耐磨涂层、光学窗口、微电子机械系统以及半导体材料等方面具有广阔的应用前景。目前,一般采用掺杂的方法降低膜的内应力,提高膜的韧性和使用寿命。本试验采用中频磁控溅射的方法,以纯Ti为溅射靶,反应气体为Ar和CH_4,在单晶硅片和钢片上成功制备了Ti-DLC。结果表明:薄膜为TiC纳米晶粒镶嵌在非晶碳网络中,为典型的纳米晶/非晶复合结构; 薄膜具有较高的硬度,可达23 GPa,在各种气氛条件下(大气、真空、氧气和惰性气氛)摩擦系数约为0.015 -0.06,磨损率最低可...
会议录	2009年全国青年摩擦学学术会议论文集
语种	中文
内容类型	会议论文
源URL	[http://202.201.7.4/handle/262010/107963]
专题	物理科学与技术学院_会议论文
推荐引用方式 GB/T 7714	王云锋,王立平,张广安,等. 碳化钛掺杂含氢类金刚石薄膜的力学和机械性能研究[C]. 见:2009年全国青年摩擦学学术会议.