含铝类金刚石薄膜的结构及机械性能研究

	含铝类金刚石薄膜的结构及机械性能研究
	张广安; 王鹏; 陈友明; 王霞; 闫鹏勋; 张俊彦
	2007-08-01
会议名称	TFC'07全国薄膜技术学术研讨会
关键词	类金刚石薄膜低摩擦系数类金刚石碳膜微电子机械系统生物相容性半导体材料耐磨涂层透过性薄膜材料磁控溅射
页码	1
中文摘要	类金刚石碳(DLC)薄膜具有高硬度、低摩擦系数、高耐磨性以及良好的化学稳定性、导热性、电绝缘性、光透过性和生物相容性,作为新型功能薄膜材料在机械耐磨涂层、光学窗口、微电子机械系统(MEMS)以及半导体材料等方面具有广阔的应用前景。然而,多年的研究发现,高质量的类金刚石碳膜的制备一直受
会议录	TFC'07全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集
语种	中文
内容类型	会议论文
源URL	[http://202.201.7.4/handle/262010/107901]
专题	物理科学与技术学院_会议论文
推荐引用方式 GB/T 7714	张广安,王鹏,陈友明,等. 含铝类金刚石薄膜的结构及机械性能研究[C]. 见:TFC'07全国薄膜技术学术研讨会.