不同湿度下Cr离子注入非晶碳膜的摩擦学性能研究 | |
阎逢元; 韩修训; 张爱民; 阎鹏勋; 许世红; 牟宗信 | |
2002-08-01 | |
会议名称 | 第七届全国摩擦学大会会议 |
关键词 | 离子注入 非晶碳膜 湿度 摩擦性能 |
页码 | 6 |
中文摘要 | 对利用直流磁控溅射技术在单晶硅表面制备的非晶碳膜进行了Cr离子注入,通过拉曼光谱、X射线光电子能谱和原子力显微镜对其结构和形貌进行了考察,在DF-PM动摩擦系数精密测定仪上测定了载荷3 N、不同湿度下薄膜的摩擦性能。结果表明,经过离子注入的非晶碳膜更趋无序化,sp3含量增多。反应型注入离子Cr在较大离子注入剂量时能够形成Cr-C化合物,使非晶碳膜的脆性增大,磨损形式发生变化。Cr离子的注入提高了非晶碳膜的耐磨寿命,改善了高湿度下非晶碳膜的摩擦性能。 |
会议录 | 第七届全国摩擦学大会会议论文集(一)
![]() |
语种 | 中文 |
内容类型 | 会议论文 |
源URL | [http://202.201.7.4/handle/262010/107858] ![]() |
专题 | 物理科学与技术学院_会议论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 阎逢元,韩修训,张爱民,等. 不同湿度下Cr离子注入非晶碳膜的摩擦学性能研究[C]. 见:第七届全国摩擦学大会会议. |
个性服务 |
查看访问统计 |
相关权益政策 |
暂无数据 |
收藏/分享 |
除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。
修改评论