不同湿度下Cr离子注入非晶碳膜的摩擦学性能研究

	不同湿度下Cr离子注入非晶碳膜的摩擦学性能研究
	阎逢元; 韩修训; 张爱民; 阎鹏勋; 许世红; 牟宗信
	2002-08-01
会议名称	第七届全国摩擦学大会会议
关键词	离子注入非晶碳膜湿度摩擦性能
页码	6
中文摘要	对利用直流磁控溅射技术在单晶硅表面制备的非晶碳膜进行了Cr离子注入,通过拉曼光谱、X射线光电子能谱和原子力显微镜对其结构和形貌进行了考察,在DF-PM动摩擦系数精密测定仪上测定了载荷3 N、不同湿度下薄膜的摩擦性能。结果表明,经过离子注入的非晶碳膜更趋无序化,sp3含量增多。反应型注入离子Cr在较大离子注入剂量时能够形成Cr-C化合物,使非晶碳膜的脆性增大,磨损形式发生变化。Cr离子的注入提高了非晶碳膜的耐磨寿命,改善了高湿度下非晶碳膜的摩擦性能。
会议录	第七届全国摩擦学大会会议论文集（一）
语种	中文
内容类型	会议论文
源URL	[http://202.201.7.4/handle/262010/107858]
专题	物理科学与技术学院_会议论文
推荐引用方式 GB/T 7714	阎逢元,韩修训,张爱民,等. 不同湿度下Cr离子注入非晶碳膜的摩擦学性能研究[C]. 见:第七届全国摩擦学大会会议.