并五苯薄膜的性能表征

	并五苯薄膜的性能表征
	陶春兰; 张旭辉; 董茂军; 欧谷平; 张福甲
	2007-09-01
会议名称	第十六届全国半导体物理学术会议
关键词	并五苯场效应晶体管迁移率薄膜 AFM XRD
页码	1
中文摘要	并五苯(pentacene)是一种有机小分子半导体材料,因其具有较高的迁移率,被广泛应用于场效应晶体管的活动层。我们以热氧化硅片为衬底,用溶液溶解和真空蒸镀两种方法制备有机半导体材料并五苯薄膜。以二氯苯为溶剂溶解并五苯,在60℃时并五苯完全溶解,分别在60℃,100℃,
会议录	第十六届全国半导体物理学术会议论文摘要集
语种	中文
内容类型	会议论文
源URL	[http://202.201.7.4/handle/262010/107850]
专题	物理科学与技术学院_会议论文
推荐引用方式 GB/T 7714	陶春兰,张旭辉,董茂军,等. 并五苯薄膜的性能表征[C]. 见:第十六届全国半导体物理学术会议.