Microstrucrure and magnetic properties of RF-sputtered nanocrystalline FeTaN soft magnetic thin films

	Microstrucrure and magnetic properties of RF-sputtered nanocrystalline FeTaN soft magnetic thin films
	Zheng, DS; Xie, T; Bai, JM; Wei, FL; Yang, Z
刊名	ACTA PHYSICA SINICA/物理学报
	2002-04
卷号	51 期号:4 页码:908-912
关键词	soft magnetism amorphous nanocrystalline
ISSN号	1000-3290
其他题名	射频溅射FeTaN纳米晶软磁薄膜结构和磁性
通讯作者	Zheng, DS (reprint author), Lanzhou Univ, Res Inst Magnet Mat, Lanzhou 730000, Peoples R China.
中文摘要	用射频反应溅射制备了FeTaN纳米晶软磁薄膜 .研究了薄膜结构和磁性与制备条件的依赖关系 .研究发现 ,当Ta的含量较高时 ,在N2 +Ar混合气氛中易形成沉积态薄膜的非晶结构 .适当的热处理后 ,α Fe纳米晶从中晶化生成 .薄膜显示出优良的软磁特性
学科主题	Physics
语种	中文
WOS记录号	WOS:000174952500039
内容类型	期刊论文
源URL	[http://202.201.7.4/handle/262010/103707]
专题	物理科学与技术学院_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	Zheng, DS,Xie, T,Bai, JM,et al. Microstrucrure and magnetic properties of RF-sputtered nanocrystalline FeTaN soft magnetic thin films[J]. ACTA PHYSICA SINICA/物理学报,2002,51(4):908-912.
APA	Zheng, DS,Xie, T,Bai, JM,Wei, FL,&Yang, Z.(2002).Microstrucrure and magnetic properties of RF-sputtered nanocrystalline FeTaN soft magnetic thin films.ACTA PHYSICA SINICA/物理学报,51(4),908-912.
MLA	Zheng, DS,et al."Microstrucrure and magnetic properties of RF-sputtered nanocrystalline FeTaN soft magnetic thin films".ACTA PHYSICA SINICA/物理学报 51.4(2002):908-912.