Measurement of the specific contact resistance of Au/Ti/p-diamond using transmission line model

	Measurement of the specific contact resistance of Au/Ti/p-diamond using transmission line model
	Wang YY(王印月); Zhen CM(甄聪棉); Gong HX(龚恒翔); Yan ZJ(阎志军); Wang YF(王亚凡); Liu XQ(刘雪芹); Yang YH(杨映虎); He SH(何山虎)
刊名	物理学报/Wuli Xuebao/Acta Physica Sinica
	2000-07-12
卷号	49 期号:7 页码:1348-1351
关键词	金刚石薄膜欧姆接触接触电阻率
ISSN号	1000-3290
其他题名	Measurement of the specific contact resistance of Au/Ti/p-diamond using transmission line model
中文摘要	采用传输线模型测量了重B掺杂 p型金刚石薄膜 (约 10 2 0 cm-3 )上Ti/Au欧姆接触电阻率 ρc,测试了 5 0 0℃退火前后及大电流情况下的I V特性 ,研究了退火对 ρc 的影响 .结果表明 ,重掺杂和退火工艺是改善欧姆接触的有效手段 .ρc 随测试温度的变化表明金属 /半导体接触界面载流子输运机制为隧道穿透 .而光照对 ρc 影响的分析表明金刚石可作为理想窗口材料 .测试得到的最低 ρc 值约为 10 -4 Ωcm2 .
语种	中文
WOS记录号	WOS:000088125500027
内容类型	期刊论文
源URL	[http://202.201.7.4/handle/262010/103616]
专题	物理科学与技术学院_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	Wang YY,Zhen CM,Gong HX,et al. Measurement of the specific contact resistance of Au/Ti/p-diamond using transmission line model[J]. 物理学报/Wuli Xuebao/Acta Physica Sinica,2000,49(7):1348-1351.
APA	王印月.,甄聪棉.,龚恒翔.,阎志军.,王亚凡.,...&何山虎.(2000).Measurement of the specific contact resistance of Au/Ti/p-diamond using transmission line model.物理学报/Wuli Xuebao/Acta Physica Sinica,49(7),1348-1351.
MLA	王印月,et al."Measurement of the specific contact resistance of Au/Ti/p-diamond using transmission line model".物理学报/Wuli Xuebao/Acta Physica Sinica 49.7(2000):1348-1351.