真空镀膜与模拟教学

	真空镀膜与模拟教学
	宋长安; 宋毅; 金武
刊名	教育教学论坛
	2011-11-15
期号	32 页码:105-106+20
关键词	膜技术的应用真空镀膜机实验模拟训练模拟
其他题名	真空镀膜与模拟教学
中文摘要	真空镀膜技术广泛应用于现代科学技术的很多领域。起初最主要用于光学薄膜。最典型的方法是采用真空蒸发法将成膜材料按设计要求淀积在工件表面从而获得所需的反射、增透、截止、带通、偏振等效果。真空镀膜技术飞速进步,日益完善,真空镀膜技术已从以真空热蒸发法为主要手段的情况发展成包括电子束加热蒸发、溅射、离子镀、激光蒸发以及各类化学气相沉积等许多各领域。以及在制备过程中观察膜生长情况的方法。采用蒸发镀膜,或者采用真空溅射沉积方式,在基底材料的表面形成一层薄膜的设备,间接观察成膜表面薄膜形成过程的方法。模拟技术已作为教学的一部分,仿真应用于实验教学训练。
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://202.201.7.4:8080/handle/262010/102873]
专题	物理科学与技术学院_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	宋长安,宋毅,金武. 真空镀膜与模拟教学[J]. 教育教学论坛,2011(32):105-106+20.
APA	宋长安,宋毅,&金武.(2011).真空镀膜与模拟教学.教育教学论坛(32),105-106+20.
MLA	宋长安,et al."真空镀膜与模拟教学".教育教学论坛 .32(2011):105-106+20.