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射频交替溅射法制备的NiZn铁氧体薄膜的结构与磁性
王海波; 孙建荣; 王兰喜; 魏福林; 王丽; 王建波; 李发伸; 沈宝龙
刊名宁波大学学报(理工版)
2010-01-10
期号1页码:115-117
关键词NiZn铁氧体 薄膜 溅射 穆斯堡尔谱
其他题名射频交替溅射法制备的NiZn铁氧体薄膜的结构与磁性
中文摘要使用交替靶射频溅射的方法在不同基底上制备得到了成分为NixZn1-xFe2O4的铁氧体薄膜,研究了NiZn铁氧体薄膜的生长条件,探讨了不同工艺条件对薄膜性能的影响,目的是提高薄膜饱和磁化强度Ms,降低薄膜矫顽力Hc,改善薄膜的软磁性能,以满足其在高频薄膜器件应用方面的需要.实验表明:沉积态薄膜即为尖晶石结构.并且通过不同实验条件对NiZn铁氧体薄膜性能影响的研究,得到了最佳的NiZn铁氧体薄膜的制备条件.
语种中文
内容类型期刊论文
源URL[http://202.201.7.4:8080/handle/262010/102807]  
专题物理科学与技术学院_期刊论文
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GB/T 7714
王海波,孙建荣,王兰喜,等. 射频交替溅射法制备的NiZn铁氧体薄膜的结构与磁性[J]. 宁波大学学报(理工版),2010(1):115-117.
APA 王海波.,孙建荣.,王兰喜.,魏福林.,王丽.,...&沈宝龙.(2010).射频交替溅射法制备的NiZn铁氧体薄膜的结构与磁性.宁波大学学报(理工版)(1),115-117.
MLA 王海波,et al."射频交替溅射法制备的NiZn铁氧体薄膜的结构与磁性".宁波大学学报(理工版) .1(2010):115-117.
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