氮化硼薄膜的红外光谱研究

	氮化硼薄膜的红外光谱研究
	邓金祥; 王瑶; 张晓康; 周涛; 汪旭洋; 姚倩; 陈光华
刊名	光散射学报
	2008-03-15
期号	1 页码:56-59
关键词	氮化硼薄膜红外光谱氮气比例
其他题名	氮化硼薄膜的红外光谱研究
中文摘要	用磁控溅射法制备六角氮化硼薄膜,在衬底温度、衬底偏压、工作气压等条件一定的情况下改变工作气体(氮气+氩气)中氮气的比例,以制备高质量的六角氮化硼薄膜,薄膜以红外吸收光谱标识。实验结果表明,工作气体中氮气的比例对制得的六角氮化硼薄膜有很大影响,在氮气比例为20%时得到理想的六角氮化硼薄膜。
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://202.201.7.4:8080/handle/262010/102707]
专题	物理科学与技术学院_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	邓金祥,王瑶,张晓康,等. 氮化硼薄膜的红外光谱研究[J]. 光散射学报,2008(1):56-59.
APA	邓金祥.,王瑶.,张晓康.,周涛.,汪旭洋.,...&陈光华.(2008).氮化硼薄膜的红外光谱研究.光散射学报(1),56-59.
MLA	邓金祥,et al."氮化硼薄膜的红外光谱研究".光散射学报 .1(2008):56-59.