CMOS硅风速传感器热性能的分析

	CMOS硅风速传感器热性能的分析
	郁红; 刘肃
刊名	微纳电子技术
	2007-04-15
期号	4 页码:190-194
关键词	二维风速传感器恒温差模式恒定功率模式有限元分析
其他题名	CMOS硅风速传感器热性能的分析
中文摘要	给出了一种能同时测量风速和风向的基于CMOS工艺的二维硅风速传感器的工作原理、结构及其热学模型。针对恒温差和恒定功率两种控制方式,建立各自的一维传感器热学模型,并采用有限元分析工具ANSYS/FLOTRAN141分析和比较了不同控制条件下传感器的热性能及其和传感器特征尺寸的关系。最后,通过试验结果验证了模拟的正确性。
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://202.201.7.4:8080/handle/262010/102647]
专题	物理科学与技术学院_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	郁红,刘肃. CMOS硅风速传感器热性能的分析[J]. 微纳电子技术,2007(4):190-194.
APA	郁红,&刘肃.(2007).CMOS硅风速传感器热性能的分析.微纳电子技术(4),190-194.
MLA	郁红,et al."CMOS硅风速传感器热性能的分析".微纳电子技术 .4(2007):190-194.