Kinetic Monte Carlo方法对薄膜生长初期表面形貌的研究

	Kinetic Monte Carlo方法对薄膜生长初期表面形貌的研究
	张佩峰; 郑小平; 贺德衍; 李廉
刊名	中国科学(G辑:物理学力学天文学)
	2007-02-20
期号	1 页码:9-16
关键词	薄膜初期表面形貌模拟 KMC
其他题名	Kinetic Monte Carlo方法对薄膜生长初期表面形貌的研究
中文摘要	用Kinetic Monte Carlo方法研究了薄膜生长初期的表面形貌,对激活能的计算采用了更加通用、准确的算法,模型考虑了原子吸附、迁移、脱附、蒸发原子返回基底,二体运动等多种机理,根据模型编写了相应的软件,利用计算机图形学的原理对薄膜的表面形态进行了三维立体成像,并通过模拟发现,在低温和高温时薄膜的早期成核和表面形貌完全不同,薄膜后续的生长与早期成核有很大的关系.微观机理主要受原子的热运动影响,温度决定扩散能力,入射率决定扩散时间.
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://202.201.7.4:8080/handle/262010/102632]
专题	物理科学与技术学院_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	张佩峰,郑小平,贺德衍,等. Kinetic Monte Carlo方法对薄膜生长初期表面形貌的研究[J]. 中国科学(G辑:物理学力学天文学),2007(1):9-16.
APA	张佩峰,郑小平,贺德衍,&李廉.(2007).Kinetic Monte Carlo方法对薄膜生长初期表面形貌的研究.中国科学(G辑:物理学力学天文学)(1),9-16.
MLA	张佩峰,et al."Kinetic Monte Carlo方法对薄膜生长初期表面形貌的研究".中国科学(G辑:物理学力学天文学) .1(2007):9-16.