类金刚石薄膜的同步辐射光电子能谱研究

	类金刚石薄膜的同步辐射光电子能谱研究
	王嘉鸥; 奎热西; 买买提依明; 苏润; 钱海杰; 洪才浩; 程峰; 李波
刊名	核技术/He Jishu/Nuclear Techniques
	2005-02-10
卷号	28 期号:2 页码:89-92
关键词	类金刚石薄膜(DLC) X射线吸收谱(XAS) X射线光电子能谱(XPS)
ISSN号	02533219
其他题名	Study of diamond-like carbon film by synchrotron radiation photoelectron spectroscopy
中文摘要	利用同步辐射光电子能谱全电子产额模式 (TEY)对石墨、金刚石薄膜和类金刚石薄膜 (DLC)的 C1s X射线吸收谱进行了研究。在高真空里表面净化处理后,在类金刚石薄膜的 C1s 吸收谱中分别观察到对应于金刚石 sp3杂化结构成分和石墨 sp2杂化结构成分的特征峰,说明了类金刚石薄膜是由碳 sp2、sp3两种杂化结构无序混合形成的非晶碳结构;然后,测量了一系列类金刚石薄膜样品的 C1s X 射线光电子能谱 (XPS),得到了每组样品的 sp2/sp3成分比。
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://202.201.7.4:8080/handle/262010/102483]
专题	物理科学与技术学院_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	王嘉鸥,奎热西,买买提依明,等. 类金刚石薄膜的同步辐射光电子能谱研究[J]. 核技术/He Jishu/Nuclear Techniques,2005,28(2):89-92.
APA	王嘉鸥.,奎热西.,买买提依明.,苏润.,钱海杰.,...&李波.(2005).类金刚石薄膜的同步辐射光电子能谱研究.核技术/He Jishu/Nuclear Techniques,28(2),89-92.
MLA	王嘉鸥,et al."类金刚石薄膜的同步辐射光电子能谱研究".核技术/He Jishu/Nuclear Techniques 28.2(2005):89-92.