薄膜外延生长及其岛核形成的计算机模拟

	薄膜外延生长及其岛核形成的计算机模拟
	郑小平; 张佩峰; 贺德衍; 刘军; 马健泰
刊名	中国科学G辑:物理学、力学、天文学
	2004-04-20
期号	2 页码:131-140
关键词	MonteCarlo算法计算机模拟岛核薄膜生长粗糙度相对密度
其他题名	薄膜外延生长及其岛核形成的计算机模拟
中文摘要	以Cu膜为例, 用Monte Carlo算法模拟了薄膜生长的随机过程. 找到了生长过程中的三个优化温度, 并研究了它们的渐近一致性, 同时对各种温度区间内表面粗糙度、相对密度随入射率的变化规律进行深入的探讨. 模拟中考虑了一些新的效应, 如原子迁移过程中势能的变化, 以及原子扩散引起的连带效应, 从而使模拟更加合理. 模型中采用了冻结周围原子近似和周期性边界条件处理.
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://202.201.7.4:8080/handle/262010/102425]
专题	物理科学与技术学院_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	郑小平,张佩峰,贺德衍,等. 薄膜外延生长及其岛核形成的计算机模拟[J]. 中国科学G辑:物理学、力学、天文学,2004(2):131-140.
APA	郑小平,张佩峰,贺德衍,刘军,&马健泰.(2004).薄膜外延生长及其岛核形成的计算机模拟.中国科学G辑:物理学、力学、天文学(2),131-140.
MLA	郑小平,et al."薄膜外延生长及其岛核形成的计算机模拟".中国科学G辑:物理学、力学、天文学 .2(2004):131-140.