纳米硅薄膜的拉曼谱研究 | |
徐刚毅; 王天民; 王金良 | |
刊名 | 兰州大学学报/Lanzhou Daxue Xuebao/Journal of Lanzhou University
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2000-10-30 | |
卷号 | 36期号:5页码:47-53 |
关键词 | 纳米硅薄膜 拉曼谱 声子限制模型 |
ISSN号 | 04552059 |
其他题名 | Raman study of nanocrystalline silicon films |
中文摘要 | 通过等离子增强化学汽相沉积法 ,制备了本征和掺磷的氢化纳米硅薄膜 (nc- Si∶ H) ,研究了晶粒尺寸和掺杂浓度对纳米硅薄膜拉曼谱的影响 .结果表明晶粒变小和掺杂浓度增加都使纳米晶粒的 TO模峰位逐渐偏离声子限制模型的计算值 .X-射线衍射和透射电镜像的结果表明晶粒变小导致硅晶粒应力增加 ,而掺杂使晶粒内部杂质和缺陷增多 ,这些因素破坏了晶粒内晶格的平移对称性 ,进一步减小声子的平均自由程 ,导致实验值偏离理论计算值 .晶格平移对称性的破缺还体现在 ,随晶粒尺雨减小或掺杂浓度增加 ,拉曼谱中 TA,LA振动模的相对散射强度增加 . |
语种 | 中文 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://202.201.7.4:8080/handle/262010/102280] ![]() |
专题 | 物理科学与技术学院_期刊论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐刚毅,王天民,王金良. 纳米硅薄膜的拉曼谱研究[J]. 兰州大学学报/Lanzhou Daxue Xuebao/Journal of Lanzhou University,2000,36(5):47-53. |
APA | 徐刚毅,王天民,&王金良.(2000).纳米硅薄膜的拉曼谱研究.兰州大学学报/Lanzhou Daxue Xuebao/Journal of Lanzhou University,36(5),47-53. |
MLA | 徐刚毅,et al."纳米硅薄膜的拉曼谱研究".兰州大学学报/Lanzhou Daxue Xuebao/Journal of Lanzhou University 36.5(2000):47-53. |
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