碳氮膜的研究进展

	碳氮膜的研究进展
	刘祖琴; 晁晟; 王维洁; 王天民
刊名	微细加工技术/Weixi Jiagong Jishu/Microfabrication Technology
	1997-09-30
期号	3 页码:75-78
关键词	碳氮膜氢致碳氮膜碳氮含量比 Superhard material
ISSN号	10038213
其他题名	Development of carbon nitride film
通讯作者	Liu, Zuqin
中文摘要	简要回顾了碳氮膜的发展历史，综述了碳氮膜研究的最新进展，并对这类膜的发展前景进行了展望。
学科主题	539.2.2 Protecting Materials;804.2 Inorganic Compounds
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://202.201.7.4:8080/handle/262010/102194]
专题	物理科学与技术学院_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	刘祖琴,晁晟,王维洁,等. 碳氮膜的研究进展[J]. 微细加工技术/Weixi Jiagong Jishu/Microfabrication Technology,1997(3):75-78.
APA	刘祖琴,晁晟,王维洁,&王天民.(1997).碳氮膜的研究进展.微细加工技术/Weixi Jiagong Jishu/Microfabrication Technology(3),75-78.
MLA	刘祖琴,et al."碳氮膜的研究进展".微细加工技术/Weixi Jiagong Jishu/Microfabrication Technology .3(1997):75-78.