碳氮膜的研究进展 | |
刘祖琴; 晁晟; 王维洁; 王天民 | |
刊名 | 微细加工技术/Weixi Jiagong Jishu/Microfabrication Technology
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1997-09-30 | |
期号 | 3页码:75-78 |
关键词 | 碳氮膜 氢致碳氮膜 碳氮含量比 Superhard material |
ISSN号 | 10038213 |
其他题名 | Development of carbon nitride film |
通讯作者 | Liu, Zuqin |
中文摘要 | 简要回顾了碳氮膜的发展历史,综述了碳氮膜研究的最新进展,并对这类膜的发展前景进行了展望。 |
学科主题 | 539.2.2 Protecting Materials;804.2 Inorganic Compounds |
语种 | 中文 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://202.201.7.4:8080/handle/262010/102194] ![]() |
专题 | 物理科学与技术学院_期刊论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘祖琴,晁晟,王维洁,等. 碳氮膜的研究进展[J]. 微细加工技术/Weixi Jiagong Jishu/Microfabrication Technology,1997(3):75-78. |
APA | 刘祖琴,晁晟,王维洁,&王天民.(1997).碳氮膜的研究进展.微细加工技术/Weixi Jiagong Jishu/Microfabrication Technology(3),75-78. |
MLA | 刘祖琴,et al."碳氮膜的研究进展".微细加工技术/Weixi Jiagong Jishu/Microfabrication Technology .3(1997):75-78. |
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