Fe-Zr-N合金薄膜的微结构对磁性能的影响

	Fe-Zr-N合金薄膜的微结构对磁性能的影响
	肖春涛; 耿胜利; 杨正
刊名	电子计算机与外部设备
	1997-09-15
期号	5 页码:29-30
关键词	高Ms 铁基薄膜微结构磁性能
其他题名	Fe-Zr-N合金薄膜的微结构对磁性能的影响
中文摘要	用射频反应溅射法在Ar＋N2混和气氛中制备了软磁性Fe－Zr－N薄膜，考察了样品的微结构和磁性能，并讨论了微结构对磁性的影响。所制备的Fe-ZR-N膜都是（110）取向的，晶粒细小。发现Zr的添加能有效地抑制Fe4N相的生成，而添加Zr和掺氮均有利于形成细晶粒结构，并改善软磁性能。
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://202.201.7.4:8080/handle/262010/102188]
专题	物理科学与技术学院_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	肖春涛,耿胜利,杨正. Fe-Zr-N合金薄膜的微结构对磁性能的影响[J]. 电子计算机与外部设备,1997(5):29-30.
APA	肖春涛,耿胜利,&杨正.(1997).Fe-Zr-N合金薄膜的微结构对磁性能的影响.电子计算机与外部设备(5),29-30.
MLA	肖春涛,et al."Fe-Zr-N合金薄膜的微结构对磁性能的影响".电子计算机与外部设备 .5(1997):29-30.