微波等离子体CVD法在人造金刚石衬底上外延生长金刚石

	微波等离子体CVD法在人造金刚石衬底上外延生长金刚石
	方莉俐; 张战; 李嘉; 马丽莹; 于鸿昌; 吴宝善
刊名	人工晶体学报
	1992-07-01
期号	2 页码:184-188
关键词	人造金刚石金刚石薄膜微波等离子体CVD 外延生长
其他题名	微波等离子体CVD法在人造金刚石衬底上外延生长金刚石
中文摘要	本文用微波等离子体化学气相沉积方法,以丙酮和氢气作为原料气体,在人造金刚石的(100)(110)面上外延出金刚石,在(111)面上生长出多晶金刚石。
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://202.201.7.4:8080/handle/262010/101971]
专题	物理科学与技术学院_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	方莉俐,张战,李嘉,等. 微波等离子体CVD法在人造金刚石衬底上外延生长金刚石[J]. 人工晶体学报,1992(2):184-188.
APA	方莉俐,张战,李嘉,马丽莹,于鸿昌,&吴宝善.(1992).微波等离子体CVD法在人造金刚石衬底上外延生长金刚石.人工晶体学报(2),184-188.
MLA	方莉俐,et al."微波等离子体CVD法在人造金刚石衬底上外延生长金刚石".人工晶体学报 .2(1992):184-188.