微波等离子体CVD法在人造金刚石衬底上外延生长金刚石 | |
方莉俐; 张战; 李嘉; 马丽莹; 于鸿昌; 吴宝善 | |
刊名 | 人工晶体学报
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1992-07-01 | |
期号 | 2页码:184-188 |
关键词 | 人造金刚石 金刚石薄膜 微波等离子体CVD 外延生长 |
其他题名 | 微波等离子体CVD法在人造金刚石衬底上外延生长金刚石 |
中文摘要 | 本文用微波等离子体化学气相沉积方法,以丙酮和氢气作为原料气体,在人造金刚石的(100)(110)面上外延出金刚石,在(111)面上生长出多晶金刚石。 |
语种 | 中文 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://202.201.7.4:8080/handle/262010/101971] ![]() |
专题 | 物理科学与技术学院_期刊论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 方莉俐,张战,李嘉,等. 微波等离子体CVD法在人造金刚石衬底上外延生长金刚石[J]. 人工晶体学报,1992(2):184-188. |
APA | 方莉俐,张战,李嘉,马丽莹,于鸿昌,&吴宝善.(1992).微波等离子体CVD法在人造金刚石衬底上外延生长金刚石.人工晶体学报(2),184-188. |
MLA | 方莉俐,et al."微波等离子体CVD法在人造金刚石衬底上外延生长金刚石".人工晶体学报 .2(1992):184-188. |
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