微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜形貌分析

	微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜形貌分析
	方莉俐; 张战; 李嘉; 马丽莹; 赵毫民; 于鸿昌; 吴宝善
刊名	高压物理学报
	1991-10-01
期号	3 页码:197-204
关键词	金刚石薄膜微波化学气相沉积形貌
其他题名	微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜形貌分析
中文摘要	本文给出了微波等离子体化学气相沉积多晶金刚石薄膜及外延单晶金刚石薄膜的各种形貌,并对这些形貌的形成做了理论分析。
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://202.201.7.4:8080/handle/262010/101929]
专题	物理科学与技术学院_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	方莉俐,张战,李嘉,等. 微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜形貌分析[J]. 高压物理学报,1991(3):197-204.
APA	方莉俐.,张战.,李嘉.,马丽莹.,赵毫民.,...&吴宝善.(1991).微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜形貌分析.高压物理学报(3),197-204.
MLA	方莉俐,et al."微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜形貌分析".高压物理学报 .3(1991):197-204.