Al-Ti_W-PtSi-Si系统电性能的研究

	Al-Ti_W-PtSi-Si系统电性能的研究
	李思渊; 张同军; 王晓岗; 贾笑天
刊名	应用科学学报
	1991-04-02
期号	1 页码:61-68
关键词	抗电迁移性表面形貌比接触电阻
其他题名	Al-Ti/W-PtSi-Si系统电性能的研究
中文摘要	本文给出了Al-Ti/W-PtSi-Si、Al-Ti/W-Si等多层结构电学性能,特别是欧姆接触与抗电迁移性的研究结果.包括电子能谱分析,扫描电镜观测表面形貌,电迁移激活能的确定以及在场感应晶体管和集成电路中的应用效果等.还讨论了相关的作用机理.
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://202.201.7.4:8080/handle/262010/101529]
专题	物理科学与技术学院_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	李思渊,张同军,王晓岗,等. Al-Ti_W-PtSi-Si系统电性能的研究[J]. 应用科学学报,1991(1):61-68.
APA	李思渊,张同军,王晓岗,&贾笑天.(1991).Al-Ti_W-PtSi-Si系统电性能的研究.应用科学学报(1),61-68.
MLA	李思渊,et al."Al-Ti_W-PtSi-Si系统电性能的研究".应用科学学报 .1(1991):61-68.