离子注入过程中表面的碳沉积 | |
阎鹏勋; 陈发贵 | |
刊名 | 核技术
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1992-12-26 | |
期号 | 12页码:705-709 |
关键词 | 离子注入 离子注入改性 碳沉积 注入剂量 |
其他题名 | 离子注入过程中表面的碳沉积 |
中文摘要 | 通过对离子注入过程中表面碳膜结构及其对离子注入层各种性能(颜色、显微硬度和耐蚀性)影响的研究,得知了形成离子注入层表面碳膜及其影响离子注入层性能的机理。 |
语种 | 中文 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://202.201.7.4:8080/handle/262010/101224] ![]() |
专题 | 物理科学与技术学院_期刊论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 阎鹏勋,陈发贵. 离子注入过程中表面的碳沉积[J]. 核技术,1992(12):705-709. |
APA | 阎鹏勋,&陈发贵.(1992).离子注入过程中表面的碳沉积.核技术(12),705-709. |
MLA | 阎鹏勋,et al."离子注入过程中表面的碳沉积".核技术 .12(1992):705-709. |
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