离子注入过程中表面的碳沉积

	离子注入过程中表面的碳沉积
	阎鹏勋; 陈发贵
刊名	核技术
	1992-12-26
期号	12 页码:705-709
关键词	离子注入离子注入改性碳沉积注入剂量
其他题名	离子注入过程中表面的碳沉积
中文摘要	通过对离子注入过程中表面碳膜结构及其对离子注入层各种性能(颜色、显微硬度和耐蚀性)影响的研究,得知了形成离子注入层表面碳膜及其影响离子注入层性能的机理。
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://202.201.7.4:8080/handle/262010/101224]
专题	物理科学与技术学院_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	阎鹏勋,陈发贵. 离子注入过程中表面的碳沉积[J]. 核技术,1992(12):705-709.
APA	阎鹏勋,&陈发贵.(1992).离子注入过程中表面的碳沉积.核技术(12),705-709.
MLA	阎鹏勋,et al."离子注入过程中表面的碳沉积".核技术 .12(1992):705-709.