基于X射线的晶圆级器件辐照与辐射效应参数提取设备的设计与实现

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	基于X射线的晶圆级器件辐照与辐射效应参数提取设备的设计与实现
	荀明珠; 李豫东; 郭旗; 何承发; 于新; 于钢; 文林; 张兴尧; 郭旗; 何承发; 李豫东
刊名	发光学报
	2017
卷号	38 期号:6 页码:828-834
关键词	抗辐射加固试验装置晶圆级器件 X射线辐照辐射效应参数提取
中文摘要	基于标准工艺线的设计加固是大规模集成电路抗辐射加固的发展趋势,对微纳米单元器件进行辐射效应参数提取是实现设计加固的前提。为了摒除参数提取过程中封装引入的影响,实现在线参数测试,本文设计了一套晶圆级器件辐照与辐射效应参数提取试验装置,兼备晶圆级器件电离总剂量辐照、器件参数在线测试分析功能,并且具有通用性强、测量范围宽、结构一体化、操作自动化等特点。对设备在50 kV管压下产生的X射线能谱、剂量率、束斑的测量以及对晶圆级MOS器件进行I-V、C-V、低频噪声特性的测试分析结果表明,该设备符合ASTM F1467测试标准,且能满足晶圆级器件辐射效应参数提取要求,可为大规模集成电路抗辐射设计加固提供良好的试验条件。
收录类别	EI
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.xjipc.cas.cn/handle/365002/4826]
专题	新疆理化技术研究所_中国科学院特殊环境功能材料与器件重点试验室新疆理化技术研究所_材料物理与化学研究室
作者单位	中国科学院特殊环境功能材料与器件重点实验室；新疆电子信息材料与器件重点实验室；中国科学院新疆理化技术研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	荀明珠；李豫东；郭旗；何承发；于新；于钢；文林；张兴尧,郭旗,何承发,等. 基于X射线的晶圆级器件辐照与辐射效应参数提取设备的设计与实现[J]. 发光学报,2017,38(6):828-834.
APA	荀明珠；李豫东；郭旗；何承发；于新；于钢；文林；张兴尧,郭旗,何承发,&李豫东.(2017).基于X射线的晶圆级器件辐照与辐射效应参数提取设备的设计与实现.发光学报,38(6),828-834.
MLA	荀明珠；李豫东；郭旗；何承发；于新；于钢；文林；张兴尧,et al."基于X射线的晶圆级器件辐照与辐射效应参数提取设备的设计与实现".发光学报 38.6(2017):828-834.