应用离子束修正高精度CGH基底

	应用离子束修正高精度CGH基底
	马占龙; 彭利荣; 王高文; 谷勇强
刊名	中国光学
	2016-04-15
期号	2 页码:270-276
关键词	光学制造离子束计算全息图透射波前
中文摘要	计算全息图(CGH)作为零位补偿器广泛应用于高精度非球面的检测中,但CGH的基底误差直接限制了非球面的检测精度。为了获得超高精度的CGH基底,提出了应用离子束修正CGH基底的加工工艺。采用不同束径的离子束去除函数对一边长152 mm(有效口径140 mm圆形区域)、厚6.35 mm的正方形熔石英CGH基底分别进行了精抛、精修和透射波前修正实验。经过总计7轮的迭代修正,最终获得了透射波前为PV值20.779 nm、RMS值0.685 nm的超高精度CGH基底。实验结果表明:应用离子束修正高精度CGH基底的加工工艺具有较大优势,不仅具有较高的加工效率而且可以获得超高的加工精度。
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/57673]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	马占龙,彭利荣,王高文,等. 应用离子束修正高精度CGH基底[J]. 中国光学,2016(2):270-276.
APA	马占龙,彭利荣,王高文,&谷勇强.(2016).应用离子束修正高精度CGH基底.中国光学(2),270-276.
MLA	马占龙,et al."应用离子束修正高精度CGH基底".中国光学 .2(2016):270-276.