高精度角位移平台的研制及误差补偿
姚雪峰; 孙慈; 杨晋; 尹禄; 赵宏伟
刊名仪器仪表学报
2016-05-15
期号5页码:961-967
关键词拉曼光谱仪 角位移平台 直驱 补偿校正
中文摘要在拉曼光谱仪中,要求承载分光元件转动的角位移平台在具备较大的转动范围、较高的转角分辨率和转角定位精度的同时还具备较快的转动速度,传统的几种驱动方式很难同时满足上述所有要求。有鉴于此,设计了一种采用力矩电机直接驱动技术的高精度角位移平台。一般控制方法的控制精度在很大程度上依赖于反馈元件的测量精度,为了突破反馈元件测量精度对整个控制精度的影响,采用了一种更为精确的误差补偿校正技术,并搭建了误差测量装置,将测得的绝对转角误差在控制器中通过一定的控制算法加以有效的补偿。最后,对结构设计和误差补偿校正的效果进行了实验检测。结果显示:当测量步距为1°时,双向绝对定位精度优于1.008″;当测量步距为10°时,双向绝对定位精度为0.648″;回转轴系的轴向晃动误差小于±5″。以上结果验证了该角位移平台具有机械精度高、转角分辨率高、定位准确等技术优势,能够满足拉曼光谱仪等相关仪器的使用需求。
语种中文
内容类型期刊论文
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/57591]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
姚雪峰,孙慈,杨晋,等. 高精度角位移平台的研制及误差补偿[J]. 仪器仪表学报,2016(5):961-967.
APA 姚雪峰,孙慈,杨晋,尹禄,&赵宏伟.(2016).高精度角位移平台的研制及误差补偿.仪器仪表学报(5),961-967.
MLA 姚雪峰,et al."高精度角位移平台的研制及误差补偿".仪器仪表学报 .5(2016):961-967.
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