MEMS高精度电容读出电路的单芯片集成研究

	MEMS高精度电容读出电路的单芯片集成研究
	尹韬 ; 杨海钢
刊名	电子器件
	2007
卷号	30 期号:4 页码:1187-1193
关键词	电容读出电路 MEMS电容传感器电容分辨率 CMOS
ISSN号	1005-9490
公开日期	2010-05-19
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ie.ac.cn/handle/80137/3079]
专题	电子学研究所_可编程芯片与系统研究室_可编程芯片与系统研究室_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	尹韬,杨海钢. MEMS高精度电容读出电路的单芯片集成研究[J]. 电子器件,2007,30(4):1187-1193.
APA	尹韬,&杨海钢.(2007).MEMS高精度电容读出电路的单芯片集成研究.电子器件,30(4),1187-1193.
MLA	尹韬,et al."MEMS高精度电容读出电路的单芯片集成研究".电子器件 30.4(2007):1187-1193.