| 题名 | 电场传感器综合测试标定方法及关键技术研究 |
| 作者 | 李冰 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2017-05-26 |
| 授予单位 | 中国科学院大学 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 夏善红 |
| 关键词 | 电场传感器 测试标定 三维 遗传算法 直流离子流场 MEMS |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 语种 | 中文 |
| 学科主题 | 传感器 ; Sensor |
| 公开日期 | 2017-06-06 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.ie.ac.cn/handle/80137/10925]  |
| 专题 | 电子学研究所_电子所博硕士学位论文_电子所博硕士学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李冰. 电场传感器综合测试标定方法及关键技术研究[D]. 北京. 中国科学院大学. 2017. |
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