| 题名 | 用于气体检测的氧化钒微测辐射热计研究 |
| 作者 | 王利霞 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2007-02-06 |
| 授予单位 | 中国科学院电子学研究所 |
| 授予地点 | 电子学研究所 |
| 导师 | 李建平 |
| 关键词 | 氧化钒 微测辐射热计 红外气体传感器 MEMS工艺 |
| 其他题名 | Study of vanadium dioxide microbolometer for infrared gas detection |
| 中文摘要 | 本文首次提出将氧化钒微测辐射热计用于红外气体检测，针对这种应用设计和制备了微测辐射热计初样器件，并成功应用于CO2气体检测实验，为氧化钒微测辐射热计在气体检测方面的应用研究奠定了基础。 采用与MEMS工艺兼容的射频反应溅射室温沉积和低温退火方法制备了较高电阻温度系数(-4%/℃)和适中电阻率的二氧化钒薄膜。采用与传统退火方式明显不同的快速升降温退火法，实现了对薄膜电阻的精确控制，简化了退火过程。 针对器件的应用特点，设计了多种结构形式的器件；并研究采用MEMS工艺制备出氧化钒微测辐射热计初样器件。对器件特性参数进行测试。研制的微测辐射热计性能与目前用于气体检测的其它热探测器相当，可以满足气体检测要求。其中具有较大敏感面积的300μm×300μm悬臂结构器件和1400μm×1400μm悬膜器件更适合于气体检测实验。 将氧化钒微测辐射热计用于CO2气体测试实验，采用阵列器件差分技术减小了器件自身噪声及系统噪声，提高了气体检测性能；器件不需真空封装也可以检测气体，有利于降低红外气体传感器的成本。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2011-07-19 |
| 页码 | 111 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.ie.ac.cn/handle/80137/8167]  |
| 专题 | 电子学研究所_电子所博硕士学位论文_电子所博硕士学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王利霞. 用于气体检测的氧化钒微测辐射热计研究[D]. 电子学研究所. 中国科学院电子学研究所. 2007. |
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