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	大口径光学元件微纳加工与检测技术研究与应用; Research on the Key Technology of Micro/nano Machining and Measuring
	郭隐彪 ; 王振忠 ; 彭云峰 ; 杨炜 ; 毕果
	2011
关键词	微纳米加工 检测 超精密加工装备 快速抛光 加工监控 表面织构化 micro/nano machining measuring ultra-precision machine tool fast polishing machining monitoring textured surface fabricating
英文摘要	超精密金刚石砂轮磨削是大口径先进光学元件微纳加工的主要技术,是实现确定性批量加工的重要保证.以实现高精度、高效率、高自动化程度加工为目的,阐述了大口径光学元件微纳加工与检测的加工技术系统,详细分析高精度加工设备及工艺控制、大尺寸检测、加工环境监控、快速抛光、表面织构化等研究应用情况.; Ultra precision grinding with diamond wheel is widely used for manufacture of large scale optical lens,especially for batch processing,as the key technology of micro/nano machining and measuring.This paper presents the technical system of micro/nano machining and measuring for large-scale optical manufacture,and introduces the studies of the research team in Xiamen University in the field of advanced optical machining,precision machine tool,micro/nano measuring,fast controllable polishing,machining environment monitoring,and textured surface fabricating.; 国家高技术研究发展计划(863)重点项目(2008AA042501);国家自然科学基金项目(51075343;50905150);福建省科技重大专项(2006HZ0002-4);福建省自然科学基金资助项目(2010J05122)
语种	zh_CN
内容类型	期刊论文
源URL	[http://dspace.xmu.edu.cn/handle/2288/105336]
专题	航空航天－已发表论文
推荐引用方式 GB/T 7714	郭隐彪,王振忠,彭云峰,等. 大口径光学元件微纳加工与检测技术研究与应用, Research on the Key Technology of Micro/nano Machining and Measuring[J],2011.
APA	郭隐彪,王振忠,彭云峰,杨炜,&毕果.(2011).大口径光学元件微纳加工与检测技术研究与应用..
MLA	郭隐彪,et al."大口径光学元件微纳加工与检测技术研究与应用".(2011).

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