| CeO_2掺杂对ZnO薄膜气敏特性的影响; Effects of CeO_2 doping on gas sensing properties of ZnO thin films | |
| 季力 ; 杨晶 ; 李健 | |
| 2011 | |
| 关键词 | 氧化铈掺杂 氧化锌薄膜 气敏特性 乙醇 丙酮 CeO2 doping ZnO thin films gas sensing properties ethanol acetone |
| 英文摘要 | znO薄膜进行CEO2掺杂,研究掺杂含量和热氧化对薄膜结构、表面、晶粒尺寸及气敏特性的影响。结果显示,用热蒸发制备的高纯zn膜经500℃热氧化,获得C轴取向znO多晶薄膜。掺CEO2可抑制晶粒生长使颗粒细化平均粒径减小,同时改善了znO薄膜的体相化学计量比,zn与O的比例从未掺杂时1∶1.28降到1∶1.191。XPS分析给出薄膜中zn显+2价,O为-2价。掺CEO2(9%)可大大提高薄膜对乙醇和丙酮的敏感性,灵敏度分别达35和40。; The doping effect of CeO2 in thin films structure,topography,grain size and gas sensing properties of ZnO thin films is investigated.The polycrystalline thin films with c-axis orientation can be obtained after thermal vacuum evaporation.The doping behavior can refine the grain size,simultaneously reduce the stoichiometric ratio from Zn∶O=1∶1.28 down to Zn∶O= 1∶1.191.The XPS results show that Zn existed as +2 and O as-2 states.Additionally,CeO2 doping can dramatically enhance the sensitivities to ethanol and acetone,reaching up to 35 and 40,respectively.; 内蒙古自治区自然科学基金资助项目(200607010109);内蒙古自治区高等学校科学研究计划资助项目(NJ05030) |
| 语种 | zh_CN |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| 源URL | [http://dspace.xmu.edu.cn/handle/2288/105321]  |
| 专题 | 航空航天－已发表论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 季力,杨晶,李健. CeO_2掺杂对ZnO薄膜气敏特性的影响, Effects of CeO_2 doping on gas sensing properties of ZnO thin films[J],2011. |
| APA | 季力,杨晶,&李健.(2011).CeO_2掺杂对ZnO薄膜气敏特性的影响.. |
| MLA | 季力,et al."CeO_2掺杂对ZnO薄膜气敏特性的影响".(2011). |
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