| 题名 | 结合动态蒙特卡洛法与分子动力学研究c面蓝宝石衬底的氮化现象; Kinetic Process of Nitridation on the α-sapphire Surface in the Combination of KMC and MD |
| 作者 | 汤星舟 |
| 答辩日期 | 2015 ; 2014 |
| 导师 | 李书平 |
| 关键词 | 氮化 KMC MD MBE Nitridation KMC MD MBE |
| 英文摘要 | 随着技术的进步和需求的增加，高质量薄膜材料的制备技术有了很大的发展。其中，在宽禁带半导体材料中，AlGaN材料因为其高频率、大功率、耐高温、化学稳定性好及可以在强辐射环境中工作等特点的受到了人们越来越多的关注。然而，高质量的AlN薄膜制作非常困难。首先在于缺乏合适的衬底材料以及由此引起的高缺陷密度。本文主要研究AlGaN薄膜制作中的氮化工艺，为生长高质量的AlGaN基LED材料奠定基础。 本文提出采用动力学外延生长模拟，结合动力学蒙塔卡洛法（KMC）和分子动力学法（MD）对表面的氮化过程和界面的渗氮现象进行研究和分析。本文在KMC模拟过程中，利用Morse势描述原子团之间的相互作用情况以及表...; Nitride compound semiconductors are widely used for optoelectronic devices as LEDs and laser diodes. And AlGaN/GaN based LEDs are focused by large amount of researchers as it is a nice choice for emitting DUV light with large band gap, strong polarization effects, high critical field strength, high electron saturation velocity and thermal conductivity and other outstanding features. However, it...; 学位：工学硕士; 院系专业：物理与机电工程学院_微电子学与固体电子学; 学号：19820111152856 |
| 语种 | zh_CN |
| 出处 | http://210.34.4.13:8080/lunwen/detail.asp?serial=46718 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://dspace.xmu.edu.cn/handle/2288/97524]  |
| 专题 | 物理技术－学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 汤星舟. 结合动态蒙特卡洛法与分子动力学研究c面蓝宝石衬底的氮化现象, Kinetic Process of Nitridation on the α-sapphire Surface in the Combination of KMC and MD[D]. 2015, 2014. |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论