| 题名 | 基于长寿命 RF MEMS 开关的电荷积累物理学及其实现技术; Physics of Charge Accumulation and Technology Development for Robust Capacitive RF MEMS Switches |
| 作者 | 李刚 |
| 答辩日期 | 2011 ; 2010 |
| 导师 | 陈旭远 |
| 关键词 | RF MEMS 开关 电荷积累 可靠性 RF MEMS switch Dielectric charging Reliability |
| 英文摘要 | 电容式RFMEMS开关依其无与伦比的系统集成特性和出色的工作性能，成为在军事和商业无线通信领域中应用前景最为广泛、最基础的微致动控制器件之一。然而可靠性问题却成为其商业化的瓶颈，最主要的失效形式就是由介质中的电荷积累造成的开关不可逆转的“粘连”效应。尽管多年来国内外很多科研小组一直致力于解决该失效问题，依然没有找到能够控制电荷积累切实可行的方法，甚至电荷积累的基本机制尚不清晰。 本项目以静电吸附失效机理的理论模型研究为基础，以学术界尚不十分明确的RFMEMS开关电介质层中电荷积累和弛豫机理作为本项目的理论攻坚，旨在探索电容式RFMEMS开关早期失效的解决方案。在研究中，我们利用金属－电介质－...; The development of future wireless communication systems leads to a demand for tunable and switchable components with good RF characteristics and lower power consumption. A promising candidate fitting this profile is the RF MEMS capacitive switch. However, the reliability issue of capacitive RF MEMS switches is the main problem that prevented their widespread insertion in both military and commerc...; 学位：工学博士; 院系专业：物理与机电工程学院机电工程系_精密仪器及机械; 学号：19920070153656 |
| 语种 | zh_CN |
| 出处 | http://210.34.4.13:8080/lunwen/detail.asp?serial=25070 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://dspace.xmu.edu.cn/handle/2288/54343]  |
| 专题 | 物理技术－学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李刚. 基于长寿命 RF MEMS 开关的电荷积累物理学及其实现技术, Physics of Charge Accumulation and Technology Development for Robust Capacitive RF MEMS Switches[D]. 2011, 2010. |
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