| 题名 | 基于差动离焦原理的微位移检测光学测头装置研究; Research of Micro-displacement Detection Optical Probe Device based on Principle of Differential Defocus |
| 作者 | 周小英 |
| 答辩日期 | 2011 ; 2010 |
| 导师 | 张建寰 |
| 关键词 | 差动离焦 微位移检测 微单片机 differential defocus micro displacement detection micro-MCU |
| 英文摘要 | 随着微结构器件加工与检测技术、电子、信息等高新技术的不断发展和进步，市场需求日益个性化与多样化，未来先进制造技术发展的总体趋势是精密化、柔性化、智能化、清洁化、集成化和全球化。微纳米检测系统的研发与应用，必将为产品向高科技、高精度、高质量、高附加值及集成化方向发展带来巨大推动作用。 本文基于“差动离焦原理的微纳米检测光学测头研究”课题研究，开发了一种高精度、非接触和实时显示检测结果的光学测头装置。在研究差动象散法离焦原理的数学模型的基础上，将测头装置光路集成化和微型化，为其实际应用于工业产品的在线检测提供了可能性。 本文完成的具体研究内容如下： (1)建立了差动象散法离焦光学检测信号的数...; As the micro-structure devices and detection technology, electronics, information and other high-tech technology continuously develops and makes progress, market demand increasingly becomes personalized and diversified. The development trend of future advanced manufacturing technology will undoubtedly be accurate, flexible, intelligent, clean and integrated. Micro-Nano-detection system developmen...; 学位：工学硕士; 院系专业：物理与机电工程学院机电工程系_精密仪器及机械; 学号：19920071151187 |
| 语种 | zh_CN |
| 出处 | http://210.34.4.13:8080/lunwen/detail.asp?serial=25962 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://dspace.xmu.edu.cn/handle/2288/54257]  |
| 专题 | 物理技术－学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 周小英. 基于差动离焦原理的微位移检测光学测头装置研究, Research of Micro-displacement Detection Optical Probe Device based on Principle of Differential Defocus[D]. 2011, 2010. |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论