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题名	基于MEMS技术的氧气微传感器机理研究与设计; The Study of Mechanism and the Design of Oxygen Micro-sensor Based on MEMS
作者	颜黄苹
答辩日期	2002 ; 2002
导师	冯勇建
关键词	氧气 YSZ，微传感器 oxygen YSZ micro-sensor
英文摘要	氧气传感器是气体传感器的主要分支之一。氧气传感器已广泛地应用于冶金、食品保鲜、医疗、生物、环保等领域。长期以来，各种氧气传感器的研究异常活跃。传统的氧检测方法能精确地分析氧的浓度，但其成本高、装置复杂、耗时长、使用和维修麻烦，不能满足实时监控或原位、在线测量的要求。大多数的光学氧气传感器灵敏度较低、稳定性较差。有些氧气传感器需要工作在高温下（500摄氏度～600摄氏度以上），要实现室温测量较为困难。气体传感器的敏感性能一般与工作温度密切相关，MEMS技术很容易将气敏元件和加热元件、温度探测元件制作在一起，保证了气体传感器的优良性能。MEMS（MicroElectro-MechanicalSys...; Oxygen sensor is a primary branch of gas sensor. Oxygen sensor has widely applied to a lot of fields, such as metallurgy, keeping-fresh of food, medical treatment, biology, environmental protection and so on. For a long period of time, the study of oxygen sensor has been very active. The methods of traditional oxygen detection can accurately analyze the concentration of oxygen, but those factors s...; 学位：工学硕士; 院系专业：物理与机电工程学院机电工程系_测试计量技术及仪器; 学号：199929001
语种	zh_CN
出处	http://210.34.4.13:8080/lunwen/detail.asp?serial=2548
内容类型	学位论文
源URL	[http://dspace.xmu.edu.cn/handle/2288/54611]
专题	物理技术－学位论文
推荐引用方式 GB/T 7714	颜黄苹. 基于MEMS技术的氧气微传感器机理研究与设计, The Study of Mechanism and the Design of Oxygen Micro-sensor Based on MEMS[D]. 2002, 2002.

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