| 题名 | MEMS窄带红外光源的设计与制作及相关耦合共振机理研究; Design and Fabrication Process Development and Work Mechanism for MEMS Narrow-Band IR Emitter |
| 作者 | 李方强 |
| 答辩日期 | 2012 ; 2012 |
| 导师 | 陈旭远 ; 伞海生 |
| 关键词 | 窄带红外光源 表面等离子体激元波 共振增强效应 NBIRE SPPs Resonant enhanced effect |
| 英文摘要 | 本文利用MEMS技术，成功设计和制作了窄带红外光源。光源在中红外波段5.86μm处实现半高宽0.12的尖锐窄带辐射。同时，系统研究了耦合共振效应的物理机理。下面将分别从设计、制作、共振机理研究及耦合模型创新几个方面进行描述。 设计方面：首先，加热方式由底端热盘传导式加热变为顶端电极加热，这一改变降低器件功耗的同时便于实现器件的薄膜化，使器件具有较强的调制特性，拓宽了其应用领域；其次，利用常见金属材料Al介电常量实部较大和虚部较小及六角晶格阵列具有更尖锐窄带效应的特点，实现了中红波段的尖锐窄带辐射；最后，SOI片的使用一方面减少工艺流程的步骤，另一方面利用其重掺杂B的器件层Si，增强了器件的辐...; In this thesis, we have successfully designed and fabricated a narrow-band infrared emitter of low cost and low power consumption by using MEMS technology. Sharp narrow-band radiation at 5.86μm with full width at half 0.12 has been found in its emission spectrum in mid-infrared range. At the same time, we studied the physical mechanism of the coupling resonance effects systematically. For the de...; 学位：工学博士; 院系专业：物理与机电工程学院物理学系_微电子学与固体电子学; 学号：19820080150515 |
| 语种 | zh_CN |
| 出处 | http://210.34.4.13:8080/lunwen/detail.asp?serial=35460 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://dspace.xmu.edu.cn/handle/2288/54860]  |
| 专题 | 物理技术－学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李方强. MEMS窄带红外光源的设计与制作及相关耦合共振机理研究, Design and Fabrication Process Development and Work Mechanism for MEMS Narrow-Band IR Emitter[D]. 2012, 2012. |
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