| 题名 | 采用静电变形薄膜造型的自由曲面微透镜阵列研究; Research of Free-Form Micro Lens Array Molded by Electrostatic Force Deformed Template |
| 作者 | 吴昭 |
| 答辩日期 | 2013 ; 2013 |
| 导师 | 吕苗 |
| 关键词 | 微透镜阵列 静电变形薄膜 自由曲面 Micro lens array electrostatic deformed template freeform |
| 英文摘要 | 自由曲面微透镜阵列可以用来实现光束整形、光场均匀化、太阳能电池的陷光结构，立体摄像及显示，光互连等很多功能，尤其是随着近年来光纤通信技术的快速发展和光纤入户的普及，与光纤光斑尺寸相仿的自由曲面微透镜的用途还在不断扩大。与之对应，现有的制造技术还难以实现低成本、直径在几十微米以下、可精确控制面型的微透镜阵列。例如通过金刚石钻头、激光加工等手段获得模具而复制获得的微镜头的尺寸一般在几百微米，而微喷打印，光敏胶热回流形成的微镜头的面型不能精确控制。 本文针对尺寸在几十微米以下的自由曲面微透镜阵列，提出一种称为“MEFDT”的制造方法，采用微细加工工艺制作了导电薄膜和驱动电极，利用静电力使导电薄膜变...; Micro lens array (MLA) was broadly used in optical system for beam homogenization beam shaping, photonic interconnection, flat panel display, compound-eyes image recording and solar concentration, etc. Especially MLAs that matches the core size of optic fiber are in active demand due to the rapid expansion of optical communication and fiber to the house. However, low cost, micro sized MLAs with w...; 学位：工学硕士; 院系专业：物理与机电工程学院_机械电子工程; 学号：19920101152715 |
| 语种 | zh_CN |
| 出处 | http://210.34.4.13:8080/lunwen/detail.asp?serial=39687 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://dspace.xmu.edu.cn/handle/2288/78988]  |
| 专题 | 物理技术－学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴昭. 采用静电变形薄膜造型的自由曲面微透镜阵列研究, Research of Free-Form Micro Lens Array Molded by Electrostatic Force Deformed Template[D]. 2013, 2013. |
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