| 题名 | 大尺寸光学元件面形检测平台开发及误差补偿研究; Development and Error Compensation of Surface Measuring Platform for Large size Optical Components |
| 作者 | 杨峰 |
| 答辩日期 | 2014 ; 2014 |
| 导师 | 杨平 |
| 关键词 | 大尺寸光学元件 运动控制 误差分析 误差补偿 Large-size optical components Motion control Errors analysis Errors compensation |
| 英文摘要 | 随着非球面等光学元件的广泛应用，光学元件正向小型高精度化和大型高精度化的方向发展，因此对光学元件的加工与检测提出了更高的要求。各国投入了大量的人力、物力研究光学元件的加工和检测，但目前国内的相关研究主要针对小尺寸元件的检测，对大尺寸元件的检测技术仍处于起步阶段。本文基于自主研发的大尺寸光学元件面形检测平台，对检测平台机构误差进行了分析和测量，同时对误差建模与误差补偿技术进行了系统研究，主要工作如下： 1．根据大尺寸光学元件面形检测的特点和要求，完善了检测平台的整体设计，包括总体结构，检测部件、控制和测量系统设计等。在原结构的基础上，对Z轴运动和支撑机构进行优化，同时开发了控制测量软件。测量初...; With the optical components especially aspheric are widely used, high-precision optical components have been branched out into smaller and larger direction, At the same time, the requirement for the accuracy of optical components is becoming higher, so the machining and measuring technology have become an important topic in the optical system. A lot of manpower and material resources had been inve...; 学位：工学硕士; 院系专业：物理与机电工程学院_精密仪器及机械; 学号：19920091152507 |
| 语种 | zh_CN |
| 出处 | http://210.34.4.13:8080/lunwen/detail.asp?serial=47070 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://dspace.xmu.edu.cn/handle/2288/84099]  |
| 专题 | 物理技术－学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨峰. 大尺寸光学元件面形检测平台开发及误差补偿研究, Development and Error Compensation of Surface Measuring Platform for Large size Optical Components[D]. 2014, 2014. |
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