| 题名 | ZnO薄膜的制备及其性能研究; Preparation and Characterization of ZnO Thin Films |
| 作者 | 李福龙 |
| 答辩日期 | 2009 ; 2009 |
| 导师 | 徐进 |
| 关键词 | ZnO薄膜 溶胶-凝胶法 c轴择优取向 光学性能 ZnO thin films Sol-gel method C-axis orientation Optical property |
| 英文摘要 | ZnO是一种直接带隙的宽禁带半导体材料，室温下禁带宽度为3.37eV，激子束缚能高达60meV，具有可见光透过率高、紫外光吸收强的特点，因此，被认为是有望取代GaN的新一代短波长光电子材料，在平面显示器、太阳能电池透明电极、表面声波材料、发光元件以及压敏电阻器等光电器件领域有着广阔的应用前景。近年来受到越来越多研究者的注意，成为半导体领域里的一个研究热点。 ZnO薄膜的制备方法很多，比如磁控溅射、化学气相沉积、脉冲激光沉积、MOCVD和分子束外延等。然而溶胶-凝胶方法设备简单、易于实现原子级掺杂，而且不受基片种类的限制。 本论文采用溶胶-凝胶法结合旋转涂覆工艺，以二水合醋酸锌、乙二醇甲醚、...; Zinc oxide is one kind of direct band gap semiconductor materials ( at RT) with a high exciton binding energy of about 60 meV. It has high transmittance for the visible light and high absorption for ultraviolet. Therefore, it was considered to be a new photo-electric material in shortwave length as GaN. It can be used to fabricate display, window materials for solar cells, surface acoustic wave de...; 学位：工学硕士; 院系专业：材料学院材料科学与工程系_材料物理与化学; 学号：20720061152070 |
| 语种 | zh_CN |
| 出处 | http://210.34.4.13:8080/lunwen/detail.asp?serial=22149 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://dspace.xmu.edu.cn/handle/2288/21850]  |
| 专题 | 材料学院－学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李福龙. ZnO薄膜的制备及其性能研究, Preparation and Characterization of ZnO Thin Films[D]. 2009, 2009. |
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