| Ag厚度对其反射率的影响 | |
| 余健 ; 赖萌华 ; 张保平 | |
| 2015-06-08 | |
| 关键词 | 反射率 Ag SEM AFM |
| 英文摘要 | 采用射频磁控溅射方法在石英片上生长不同厚度Ag薄膜,测试了Ag膜反射率变化随厚度的变化关系,利用AfM和SEM分别研究Ag膜厚度对其表面粗糙度和形貌的影响。结果表明:Ag厚度在130nM以下时,随着厚度的增加,透射率急剧下降,其反射率逐渐增加;当厚度超过130nM时,透射率不再变化,由于表面rMS的增加使得散射损耗增大,使得其反射率随着厚度增加而减小。 |
| 语种 | zh_CN |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| 源URL | [http://dspace.xmu.edu.cn/handle/2288/127115]  |
| 专题 | 物理技术－已发表论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 余健,赖萌华,张保平. Ag厚度对其反射率的影响[J],2015. |
| APA | 余健,赖萌华,&张保平.(2015).Ag厚度对其反射率的影响.. |
| MLA | 余健,et al."Ag厚度对其反射率的影响".(2015). |
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